Однокамерная установка периодического действия ВАТТ 900-2М2ДС

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали с одной дверью для загрузки изделий и обслуживания, с симметричным размещением технологических источников. Технологические источники размещаются в специализированных карманах на корпусе камеры. Для нанесения покрытий используются два планарных дуговых источника и два планарных магнетрона – все длиной 1800мм. Блоки питания технологических источников и смещения инверторного типа фирмы «Эсто-Эл». Для размещения изделий используется система планетарного вращения, с механизмом электроизолированным от корпуса. Для подвода смещения к планетам используется система силовых токоподводов.
Корпус камеры, крышка камеры, фланцы крепления технологических источников и ввод вращения водоохлаждаемые. Вакуумная система на основе диффузионного насоса НД500, двух насосов НВР-90 и насоса НВД- 600. Установка включает в себя холодильную машину оборотного водоснабжения ВМТ25. Установка может работать в ручном и автоматическом режимах. Система управления построена на основе контроллера и компьютера с выводом параметров на монитор.