Уплотнение магнитожидкостное АП 14.000.00
Зеленоград
Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок.
Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения.
Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.
Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.