Уплотнение магнитожидкостное АП 16.000.00

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации.
Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора.
Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.