Токоввод 08ПХО-100Т-005
Зеленоград
Является нижним электродом установки плазмохимической обработки пластин в плазме ВЧ-тлеющего разряда 08ПХО-100Т-005.
Выполнен с двумя полыми каналами для водяного охлаждения.
Материал токоввода - медь М1.
Зеленоград
Является нижним электродом установки плазмохимической обработки пластин в плазме ВЧ-тлеющего разряда 08ПХО-100Т-005.
Выполнен с двумя полыми каналами для водяного охлаждения.
Материал токоввода - медь М1.