ПРИНТЕР ПЛАЗМОННЫХ НАНОСТРУКТУР

Принтер плазмонных наноструктур, функционирующий по принципу сухой аэрозольной печати, представляет собой единую технологическую установку, которая объединяет четыре последовательных процесса. Первый этап - формирование наночастиц из расходуемых металлических электродов в искровом разряде в среде инертного газа. В последующем этапе модификации наночастицы обрабатываются импульсным лазерным излучением с образованием квазисферических наночастиц. Затем аэрозоль наночастиц транспортируется к установленному в вакуумной камере печати коаксиальному соплу, где происходит газодинамическая фокусировка аэрозольного потока, позволяющая достигать ширины печатной линии, кратно меньшей диаметра сопла. При помощи трехкоординатной системы перемещения столика на подложках формируется заданный рисунок. Одновременно с нанесением наночастиц может производиться лазерное спекание, обеспечивающее монолитизацию структур и достижение высоких значений проводимости.

Ключевая особенность устройства - отказ от жидких чернил, используемых в большинстве машин печатной электроники. Весь процесс манипулирования наночастицами происходит в среде высокочистого газа, что вкупе с отсутствием побочных веществ, содержащихся в чернилах, обеспечивает исключительную чистоту наносимых структур. Конструкция, объединяющая несколько технологических операций в одном приборе, значительно упрощает производство и снижает затраты по сравнению с традиционным чернильным методом.

ХАРАКТЕРИСТИКИ
Ширина печатаемых дорожек от 30 до 400 мкм
Размеры печатаемых структур до 100х100 мм
Скорость печати до 5 мм/с
Точность позиционирования по осям XYZ 10 мкм
Средний размер частиц от 70 до 300 нм
Удельное сопротивление микроструктур до 4 хBulk
Коэффициент усиления плазмонных структур до 105


ПРЕИМУЩЕСТВА
• Объединение 4-х техпроцессов в одном приборе
• Синтез наночастиц в реальном времени
• Широкий спектр используемых наночастиц металлов и полупроводников
• Вариация среднего размера наночастиц в широком диапазоне

ПРИМЕНЕНИЕ ПРИБОРА
• Печатная микроэлектроника
Высокопроводящие межсоединения, индуктивные и резистивные элементы, дисплейные решетки
• Оптоэлектроника
Плазмонные слои, кратно повышающие эффективность: фотоприемников, дисплеев, источников света
• Спектроскопия веществ
Бюджетные SERS - подложки для оперативной идентификации
• Печать на SERS объектах